Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計

液體混合注入，汽化能力20g/min（TEOS）

HORIBA 是半導(dǎo)體行業(yè)高性能汽化系統(tǒng)的供應(yīng)商之一。HORIBA 液體源汽化器貫穿整個半導(dǎo)體制程，可以安全有效地將液相化學(xué)品以氣相形態(tài)輸送至使用點。無論液態(tài)化學(xué)品是需要在真空下還是大氣壓下汽化，HORIBA 的汽化技術(shù)都能提供符合要求的汽化系統(tǒng)。包括：汽化器VC系列、汽化器MV系列、汽化器VE系列。

暢銷型號：VC-1420、MV-1000、MV-2000、VE-10、VE-30.

MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實現(xiàn)穩(wěn)定汽化，實現(xiàn)流量計的流量測量功能。適用于包含 “High-k”工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。

Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計可通過使用氣液混合物汽化方法快速汽化各種液體源。該方法可實現(xiàn)高沸點液體的穩(wěn)定汽化。

· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點液體

· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃

· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃

· 汽化效率高于傳統(tǒng)汽化方法

· 產(chǎn)生更大流量

· 汽化溫度降低

測量技術(shù) 注入方式
以下是汽化液體源并將其輸送到處理室的主要步驟。
1. 載氣和液體在控制閥中混合。
2. 液體在蒸發(fā)區(qū)瞬間汽化。
3. 氣體被釋放，防止凝結(jié)成液態(tài)。

技術(shù)參數(shù)