horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)Z514/SEC-Z524/SEC-Z534

暢銷型號(hào)：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212

氣體質(zhì)量流量計(jì)又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡稱MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量達(dá)到期望的設(shè)定值，同時(shí)反饋實(shí)際的流量信號(hào)到上位機(jī)。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z524是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進(jìn)口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中，國內(nèi)多回收、二次銷售，我公司提供進(jìn)口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z514、SEC-Z524等，保證全新進(jìn)口，終身維修。

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)SEC-Z514MGX/Z524MGX產(chǎn)品特點(diǎn)：

1)多種氣體及多種流量范圍，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量，現(xiàn)場設(shè)定；

2)超高精度：±1.0% S.P.(25-100% F.S.); ±0.25% F.S.(≤25% F.S.)；

3)快速響應(yīng)：<1秒(全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點(diǎn))；

4)非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作；

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存；

6)與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容；

7)可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號(hào)。

產(chǎn)品參數(shù)：

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。

*2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。

*3IGS：完整氣體系統(tǒng)。

*SCCM 和 SLM是表示氣體流量的記號(hào)。(mL/min,L/min,at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意：

請(qǐng)?zhí)峁┊a(chǎn)品的介質(zhì)名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設(shè)備備件的更換，請(qǐng)?zhí)峁┰a(chǎn)品的背面圖片和側(cè)面圖片、頂部圖片。